胸部X線撮影、線維化の広がりなど精査にはCT撮影を行う。
原因となる間質肺炎急性期の精査には血液生化学検査、肺生檢も行われる。間質肺炎の活動状態の指標には血液生化学検査。肺機能や動脈血酸素飽和度の測定、運動負荷なども進行状況の評価に行われる。添付画像は蜘蛛の糸のごとく線維化した白い部分と黒く抜けた巣(気腫）の部分で蜂巣状と表現される。本例は運動時、動脈血酸素飽和度は90%（酸素分圧60mmHg）以下となり、息切れを生じる。携帯酸素を使用。